摘要：本發(fā)明公開了一種快速升降溫退火爐，包括爐體，爐體包括支座以及沿支座上的滑軌左右移動(dòng)的加熱腔體，加熱腔體內(nèi)貼附有聚輕纖維保溫內(nèi)襯并設(shè)置有加熱器，在加熱腔體一側(cè)的支座上固定有工件托架，工件托架的前部延伸設(shè)置有工件托放平臺(tái)。在聚輕纖維保溫內(nèi)襯上涂覆有超高溫涂層。加熱腔體和工件托架之間的支座上設(shè)置有沿支座滑軌左右移動(dòng)的石英反應(yīng)腔體；工件托架后部開設(shè)有與石英反應(yīng)腔體內(nèi)部相連通的進(jìn)氣口和與外部抽真空設(shè)備相連通的出氣口。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于加熱腔體內(nèi)貼附整體氧化鋁聚輕纖維保溫內(nèi)襯，工作時(shí)較傳統(tǒng)爐體節(jié)能70%，升降溫速率最快可達(dá)≤500℃/S，省卻了水冷系統(tǒng)，降低了設(shè)備制造成本和生產(chǎn)成本，擴(kuò)大了設(shè)備應(yīng)用范圍。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人河南諾巴迪材料科技有限公司;
- 發(fā)明人宋風(fēng)寬;
- 地址451100 河南省鄭州市新鄭市薛店鎮(zhèn)新孟公路東側(cè)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310005931.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年01月08日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103000496A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年03月27日
- 分類號(hào)H01L21/02(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I;
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