摘要：本發(fā)明公開了一種快速升降溫退火爐，包括爐體，爐體包括支座以及沿支座上的滑軌左右移動的加熱腔體，加熱腔體內(nèi)貼附有聚輕纖維保溫內(nèi)襯并設置有加熱器，在加熱腔體一側的支座上固定有工件托架，工件托架的前部延伸設置有工件托放平臺。在聚輕纖維保溫內(nèi)襯上涂覆有超高溫涂層。加熱腔體和工件托架之間的支座上設置有沿支座滑軌左右移動的石英反應腔體；工件托架后部開設有與石英反應腔體內(nèi)部相連通的進氣口和與外部抽真空設備相連通的出氣口。本發(fā)明的優(yōu)點在于加熱腔體內(nèi)貼附整體氧化鋁聚輕纖維保溫內(nèi)襯，工作時較傳統(tǒng)爐體節(jié)能70%，升降溫速率最快可達≤500℃/S，省卻了水冷系統(tǒng)，降低了設備制造成本和生產(chǎn)成本，擴大了設備應用范圍。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人河南諾巴迪材料科技有限公司;
- 發(fā)明人宋風寬;
- 地址451100 河南省鄭州市新鄭市薛店鎮(zhèn)新孟公路東側
- 申請?zhí)?/b>CN201310005931.6
- 申請時間2013年01月08日
- 申請公布號CN103000496B
- 申請公布時間2015年04月15日
- 分類號H01L21/02(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I;
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