一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置

　　摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置，包括有氫氣發(fā)生器電控裝置、氫氣報(bào)警器探頭和氫氣報(bào)警控制器，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置并聯(lián)連接；本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，氫氣報(bào)警控制器會(huì)給出一個(gè)開(kāi)關(guān)信號(hào)切斷氫氣發(fā)生器電控裝置的主電路，從而切斷氣體再生，確保安全性，這樣能將發(fā)生意外的可能性降低到零，CVD系統(tǒng)可以檢測(cè)切斷保護(hù)試驗(yàn)中意外出現(xiàn)的危險(xiǎn)，各個(gè)檢測(cè)精度部件可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求自由組合，這種組合方式適合各種CVD系統(tǒng)。

專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
申請(qǐng)人安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司;
發(fā)明人孔令杰;
地址230031 安徽省合肥市廬陽(yáng)區(qū)濉溪路312號(hào)
申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320052522.7

申請(qǐng)時(shí)間2013年01月30日

申請(qǐng)公布號(hào)CN203034097U

申請(qǐng)公布時(shí)間2013年07月03日

分類(lèi)號(hào)C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I;

該申請(qǐng)人其他專(zhuān)利（共33）

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微型管式爐

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CVD成膜工藝的膜厚調(diào)節(jié)優(yōu)化方法

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一種基于串級(jí)控制的微環(huán)境壓力調(diào)度方法

一種基于物料供應(yīng)系統(tǒng)模型的工藝環(huán)境壓力調(diào)度方法

應(yīng)用于CVD成膜工藝的膜厚流量建模方法及膜厚調(diào)節(jié)方法

應(yīng)用于CVD成膜工藝的膜厚流量建模方法及膜厚調(diào)節(jié)方法

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一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置