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全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針
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全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

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——從此形貌探測(cè)無需激光


全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針


SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年,公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售硅基壓電阻式自感應(yīng)AFM探針。這種全壓電式懸臂,在AFM、納米、力測(cè)量等傳感應(yīng)用領(lǐng)域都有全新的應(yīng)用。我們的多學(xué)科團(tuán)隊(duì)由物理、商業(yè)和金融、半導(dǎo)體和微電子學(xué)、電子工程和生物科學(xué)等領(lǐng)域的專家組成。除了我們自己的團(tuán)隊(duì)之外,我們還與高校:University of Tampere (UTA),école Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)許多的研究團(tuán)隊(duì)合作,密切接觸前沿研究和開發(fā)。

自感應(yīng)懸臂探針安裝了一個(gè)全壓電電阻式的惠特斯通電橋,兩個(gè)可變電阻在懸臂上,兩個(gè)在晶片上可以直接測(cè)量懸臂的信號(hào),從而避免了光學(xué)技術(shù)對(duì)空間要求。這種懸臂式芯片被連接在一個(gè)小的PCB上,帶有一個(gè)小的連接器,用于快速和高度可重復(fù)的懸臂交換。傳感器信號(hào)是通過一個(gè)小型的前置放大器PCB來讀出和放大的。這使得與各種儀器,如SEM,TEM和許多其他測(cè)量系統(tǒng)的簡(jiǎn)單無縫集成。這種自感的懸臂可以滿足各種共振頻率和彈性系數(shù)的要求。

SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加熱的懸臂AFM探針和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加熱的懸臂AFM探針。我們建議用塑料鑷子更換裸懸臂AFM探針,用鋼鑷子來更換固定在PCB板上的懸臂AFM探針。


常規(guī)自感應(yīng)懸臂梁探針(針尖材質(zhì)Si)Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip


全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

左圖展示的是標(biāo)準(zhǔn)的SCL自感應(yīng)懸臂探針的,半徑小于15納米。正常情況下,懸臂探針會(huì)預(yù)先安裝特制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下側(cè)有一個(gè)10pin的連接器。如果有特殊要求,我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本,可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active)和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing)


型號(hào)列表:


PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP

我們可以提供兩中特定頻率范圍內(nèi)使用的探針(中頻為50 kHz或80 kHz),頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒有PCB板的裸探針時(shí)(PRSA-L300-CHP)時(shí),使用的頻率范圍是未知的,因?yàn)檫@些參數(shù)不能在沒有電觸點(diǎn)的情況下測(cè)量。


全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針共同特點(diǎn)Common
針尖銳度Silicon tip radius (rtip)< 15 nm
長(zhǎng)寬Cantilever length, width (l/w)l = 305 μm, w = 110 μm
靈敏度Sensitivity (s)1-2 μV/nm
應(yīng)用ApplicationsAFM, 納米探測(cè), 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測(cè).
PRSA-L300-F50-Si-PCB
共振頻率Resonant frequency (fR)fR = 30~65 kHz
剛度Stiffness (k)k = 1~15 N/m
PRSA-L300-F80-Si-PCB
共振頻率Resonant frequency (fR)65...95 kHz
剛度Stiffness (k)15...56 N/m


PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP


全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP


針尖銳度Silicon tip radius(rtip)< 15 nm
長(zhǎng)寬Cantilever length, width (l/w)l = 70...85 μm, w = 30 μm
靈敏度Sensitivity (s)3 μV/nm
應(yīng)用ApplicationsAFM, 納米探測(cè), 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測(cè).
共振頻率Resonant frequency (fR)500...1300 kHz
剛度Stiffness (k)35...400 N/m


自感應(yīng)懸臂梁(不含針)Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless)


全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針


這是一種特殊類型的SCL的自感應(yīng)懸臂,沒有探針針尖,可將自己設(shè)計(jì)制造的針尖粘在其上或者直接粘上樣品,滿足個(gè)性化的需求。這種無探針的懸臂尤其適用于扭矩磁力儀、力感測(cè)力、氣體特性測(cè)量,以及更多的應(yīng)用。正常情況下,懸臂探針會(huì)預(yù)先安裝特制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下側(cè)有一個(gè)10pin的連接器。如果有特殊要求,我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本,可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active)和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing)


型號(hào)列表:


PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP

我們可以提供兩中特定頻率范圍內(nèi)使用的探針(中頻為50 kHz80 kHz),頻率取決于懸臂的厚度。當(dāng)選擇沒有PCB板的裸探針時(shí)(PRSA-L300-CHP)時(shí),使用的頻率范圍是未知的,因?yàn)檫@些參數(shù)無法在沒有電觸點(diǎn)的情況下測(cè)量。

全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針共同特點(diǎn)Common
長(zhǎng)寬Cantilever length, width (l/w)l = 300 μm, w = 110
靈敏度Sensitivity (s)1-2 μV/nm
應(yīng)用Applications扭矩磁力儀,力感應(yīng),氣體特性,特殊針尖的安裝
PRSA-L300-F50-TL-PCB
共振頻率Resonant frequency (fR)fR = 30~65 kHz
剛度Stiffness (k)k = 1~15 N/m
PRSA-L300-F80-TL-PCB
共振頻率Resonant frequency (fR)65...95 kHz
剛度Stiffness (k)15...56 N/m


PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP


全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP


長(zhǎng)寬Cantilever length, width (l/w)l = 100 μm, w = 48 μm
靈敏度Sensitivity (s)1...3 μV/nm
應(yīng)用Applications 扭矩磁力儀,力感應(yīng),氣體特性,特殊針尖的安裝
共振頻率Resonant frequency (fR)fR = 250...550 kHz
剛度Stiffness (k)k = 14...170 N/m


PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP


全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP


長(zhǎng)寬Cantilever length, width (l/w)l = 450 μm, w = 100 μm
靈敏度Sensitivity (s)1...2 μV/nm
應(yīng)用Applications 扭矩磁力儀,力感應(yīng),氣體特性,特殊針尖的安裝
共振頻率Resonant frequency (fR)fR = 14...48 kHz
剛度Stiffness (k)k = 0.5...24 N/m


自感應(yīng)基礎(chǔ)套件(DIY必備)Self-Sensing Starter-Kit


自感懸臂探針的每個(gè)應(yīng)用中沒有激光擾度探測(cè),無法直接用于普通AFM設(shè)備里,需要我們提供的自感應(yīng)基礎(chǔ)套件。該基礎(chǔ)套件為您提供了所有基本但必要的配置,可以立即開始使用自感應(yīng)懸臂(探針)。自感應(yīng)基礎(chǔ)套件包含以下內(nèi)容:

? 低噪聲懸臂信號(hào)前置放大器(下圖-2)

? 連接前置放大器到懸臂和后加工設(shè)備(鎖定放大器,AFM控制器等)的電纜。(1 3)

? 10個(gè)自我感覺的懸臂(4)

全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針

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