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產(chǎn)品熱度：加載中

品　　牌：ADVANCE RIKO

產(chǎn)品型號：TCN-2ω

制造廠商：日本ADVANCE RIKO公司

適用范圍：高教

所在地區(qū)：日本

納米薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)-TCN-2ω

— 薄膜材料的熱導(dǎo)率評價(jià)將變得為簡便

　　日本Advance Riko公司推出的納米薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)是使用2ω方法測量納米薄膜厚度方向熱導(dǎo)率的商用系統(tǒng)。與其他方法相比，樣品制備和測量為簡單。

納米薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)特點(diǎn)：　　

1. 在納米尺度衡量薄膜的熱導(dǎo)率

　　開發(fā)出的監(jiān)測周期加熱過程中熱反射帶來的金屬薄膜表面溫度變化的方法，通過厚度方向上的一維熱導(dǎo)模型計(jì)算出樣品表面的溫度變化，為簡便的衡量厚度方向上熱導(dǎo)率。（日本：5426115）　

2. 樣品制備簡單

　　不需要光刻技術(shù)即可將金屬薄膜（1.7mm×15mm×100nm）沉積在薄膜樣品上。

納米薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)應(yīng)用：

　　1. 熱設(shè)計(jì)用薄膜熱導(dǎo)率評價(jià)的優(yōu)先選擇。

　　low-k薄膜，有機(jī)薄膜，熱電材料薄膜

　　2. 可用于評價(jià)熱電轉(zhuǎn)換薄膜

納米薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)測量原理：

　　當(dāng)使用頻率為f的電流周期加熱金屬薄膜時(shí)，熱流的頻率將為電流頻率的2倍（2f）。如果樣品由金屬薄膜（0）-樣品薄膜（1）-基體（s）組成（如圖），可由一維熱導(dǎo)模型計(jì)算出金屬薄膜上表面的溫度變化T(0)。

　　假設(shè)熱量全部傳導(dǎo)到基體，則T(0)可由下式計(jì)算：

　　（λ/Wm^-1K^-1，C/JK^-1m^-3，q/Wm^-3，d/m，ω（=2πf）/s^-1）

　　式中實(shí)部（同相振幅）包含樣品薄膜的信息。如熱量全部傳導(dǎo)到基體，則同相振幅正比于(2 ω)0.5，薄膜的熱導(dǎo)率（λ1）可由下式給出：

　?。╩：斜率，n：截距）

納米薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)參數(shù)：

　　1. 測試溫度：室溫

　　2. 樣品尺寸：長10～20mm，寬10mm

　　厚0.3～1mm（含基體）

　　3. 基體材料：Si（推薦）

　　Ge，Al2O3（高熱導(dǎo)率）

　　4. 樣品制備：樣品薄膜上需沉積金屬薄膜（100nm）

　?。ㄍ扑]：金）

　　5. 薄膜熱導(dǎo)率測量范圍：0.1～10W/mK

　　6. 測試氛圍：大氣

設(shè)備概念圖

樣品準(zhǔn)備

納米薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)測試數(shù)據(jù)：

　　Si基底上的SiO₂薄膜（20-100nm）測量結(jié)果

發(fā)表文章

　　1. K. Mitarai et al. / J. Appl. Phys. 128, 015102 (2020) 

　　2. M. Yoshiizumi et al. / Trans. Mat. Res. Soc. Japan 38[4] 555-559 (2013)