KT-4019MRL4T精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用軍工級(jí)別真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)。
探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。該探針臺(tái)采用純銀熱臺(tái)，導(dǎo)熱性較好，高溫不易變色，不易氧化。
該探針臺(tái)采用純銀熱臺(tái)，導(dǎo)熱性較好，高溫不易變色，不易氧化。
探針 | |
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接BNC接頭BNC三同軸接頭SMA 接頭香蕉插頭線長(zhǎng)1.2米 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻≥4000MΩ介質(zhì)耐壓≤200V 電流噪聲≤10pA |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選） |
探針尖 | 10μm |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)） |
X軸控制精度 | ≥500μm |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿） |
R軸控制精度 | ≥500μm |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿） |
