KT-Z165M4RT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。
探針 | |
電信號接頭 | 配線轉接BNC接頭BNC三同軸接頭SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻≥4000MΩ介質(zhì)耐壓≤200V 電流噪聲≤10pA |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴展5探針） |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選） |
探針尖 | 10μm |
手動探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） |
X軸控制精度 | ≥500μm |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉探針桿） |
R軸控制精度 | ≥500μm |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿） |
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