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鄭科探KT-Z1604T-RL半導(dǎo)體測(cè)試探針臺(tái) 真空高低溫探針臺(tái)

鄭科探KT-Z1604T-RL半導(dǎo)體測(cè)試探針臺(tái) 真空高低溫探針臺(tái)
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產(chǎn)品報(bào)價(jià): 128000
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加載中
鄭科探
KT-Z1604T-RL
鄭州科探儀器
全階段
河南 鄭州 中原區(qū)
清華大學(xué),浙江大學(xué),西安大學(xué),復(fù)旦大學(xué),深圳大學(xué),上海理工大學(xué),中科院,東南大學(xué),江蘇大學(xué)
詳細(xì)說(shuō)明

  探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

  探針移動(dòng)平臺(tái)

  X軸移動(dòng)行程

  30mm    ±15mm

  X軸控制精度

  ≤0.01mm 

  Y軸移動(dòng)行程

  13mm    ±12.5mm

  Y軸控制精度

  ≤0.01mm 

  Z軸移動(dòng)行程

  13mm    ±12.5mm

  Z軸控制精度

  ≤0.01mm 

電子顯微鏡

  該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面,臺(tái)面可升溫到400℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng),三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè)

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