Lake Shore的TTPX探針臺(tái)是一款經(jīng)濟(jì)的、入門級(jí)的探針臺(tái)，能夠進(jìn)行各種非破壞性的標(biāo)準(zhǔn)電子器件測(cè)量。緊湊的桌面設(shè)計(jì)非常適合學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)室研究環(huán)境。
TTPX探針臺(tái)通過使用液氦或液氮的連續(xù)流制冷系統(tǒng)提供低溫操作和控制，系統(tǒng)在4.2 K至475 K的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行，可擴(kuò)展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范圍。該系統(tǒng)可容納直徑達(dá)51 mm（2英寸）的完整和部分晶圓片。各種探針、測(cè)試電纜、樣品支架和選件使其能夠滿足多種特定的測(cè)量應(yīng)用。
TTPX探針臺(tái)是Lake Shore為光電材料表征而設(shè)計(jì)的高端產(chǎn)品，它具有背面光學(xué)接入選件和兼容的光學(xué)樣品座。I-V、C-V和微波測(cè)量是TTPX的標(biāo)準(zhǔn)選件。TTPX的多功能性和經(jīng)濟(jì)性使其成為世界各地許多研究人員的工具。
主要特征
√ 溫度范圍4.3 K~475 K
√ 可選低溫3.2 K，可選高溫675 K
√ 標(biāo)準(zhǔn)2英寸（51 mm）樣品
√ 緊湊型桌面設(shè)計(jì)
√ 樣品振動(dòng)＜30 nm可選
√ 環(huán)形磁體選件最大0.19T
√ 允許樣品背光接入
主要參數(shù)及描述
溫度范圍 | ||
安裝2個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.3 K，控制范圍4.4 K ~ 475 K | |
安裝4個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.325 K，控制范圍4.4 K ~ 475 K | |
安裝6個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.35 K，控制范圍4.4 K ~ 475 K | |
安裝PS-LT低溫選件 | 基礎(chǔ)溫度3.2 K，控制范圍3.3 K ~ 475 K | |
安裝PS-HTSTAGE高溫選件 | 基礎(chǔ)溫度20 K，控制范圍20 K ~ 675 K | |
溫度穩(wěn)定性 | 液氦 | 液氮 |
基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | ±15 mK | ±20 mK |
<10 K | ±50 mK | — |
10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
101 K ~ 250 K | ±15 mK | ±50 mK |
251 K ~ 350 K | ±15 mK | ±100 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn) | |
抽真空時(shí)間 | 15 min (<1 × 10-3Torr) | |
室溫 | <5 × 10-4Torr | |
基礎(chǔ)溫度 | <1 × 10-5Torr | |
最高溫度 | <5 × 10-3Torr | |
循環(huán)時(shí)間 | ||
總循環(huán) | 2 h | |
抽真空 | 15 min | |
探針臺(tái)冷卻 | 45 min | |
探針臺(tái)升溫 | 60 min | |
樣品 | ||
最大尺寸 | 51 mm(2英寸)標(biāo)準(zhǔn) | |
樣品背光接口 | 5 mm (0.2 in) 直徑 | |
樣品旋轉(zhuǎn) | 無 | |
樣品振動(dòng) | ＜300 nm標(biāo)準(zhǔn)，＜30 nm選配PS-PVIS減震選件 | |
探針配置 | ||
最大探針數(shù) | 6 | |
探針臂溫度計(jì) | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 | |
冷卻探針支架 | ＜35 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) | |
探針支架 | 連接樣品臺(tái)熱沉 | |
探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量 | |
微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz | |
光纖探針 | 可用于電光測(cè)量 | |
落針范圍 | 所有探針均可在直徑為25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 | |
