美國Lake Shore公司成立于1968年，是極端溫度和磁場條件下材料表征測量和控制解決方案的創(chuàng)新者。其主要產(chǎn)品包括：低溫探針臺、振動樣品磁強計、霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)、低溫恒溫器、低溫控溫儀、低溫傳感器、高斯計等。
美國Lake Shore公司的低溫探針臺能夠提供精確的環(huán)境控制、可重復(fù)的測量，是全球科研工作者們值得信賴的伙伴。所有Lake Shore的探針臺都經(jīng)過了專有的熱學(xué)設(shè)計，以確保樣品的溫度在測試時獲得盡可能高的置信度。使用ZN50R-CVT探頭，能有效減少熱脹冷縮效應(yīng)，確保在大范圍溫度變化時針尖位置保持穩(wěn)定，使其在連續(xù)可變的溫度下進行無人值守測量成為可能。
Lake Shore低溫探針臺主要用于電學(xué)、磁學(xué)、微波、THz、光學(xué)等多種測量，可以根據(jù)客戶需要，選擇不同的溫度和磁場配置。客戶可以選擇自己搭配測試儀表集成各類測試，也可以選擇我們的整體測試解決方案，如電輸運測試、半導(dǎo)體分析測試、霍爾效應(yīng)測試、鐵電分析測試，集成光學(xué)測試等。
主要特征
◇ 最大±2.5T磁場，可定制5T磁場
◇ 低溫至1.6K，高溫至675K
◇ 最大可測8英寸晶圓樣品
◇ 最高67GHz高頻探針
◇ 3 kV 高電壓探針
◇ 大溫區(qū)低溫漂探針
◇ 真空腔聯(lián)用傳送樣品
◇ ＜30 nm低振動適用于顯微光學(xué)測量
◇ 霍爾效應(yīng)、鐵電、半導(dǎo)體分析測試選件
探針臺選型指引
*如果有特殊需求，可以聯(lián)系我們商討定制方案
| 型號 | 磁場 | 最大探針臂數(shù) | 標準溫度范圍 | 可選高溫 | 可選低溫 | 最大樣品尺寸 | 真空 | 樣品臺旋轉(zhuǎn) |
無液氦低溫探針臺 | ||||||||
0.6 T 水平磁場 電磁鐵 | 4 | 8 K to 400 K | — | — | 25 mm (1 in) 直徑 | 10-5torr | ±360° （可選) | |
2.5 T 垂直磁場 超導(dǎo)磁體 | 6 | 10 K to 500 K, <10 K to 400 K 同Load Lock使用時 | — | — | 51 mm (2 in) 直徑 | 10-5torr 標準, 10-7torr 可選 | — | |
— | 6 | 4.5 K to 350 K | 20 K to 675 K | — | 51 mm (2 in) 直徑 | 10-5torr | — | |
— | 6 | <10 K to 350 K | 20 K to 675 K | — | 51 mm (2 in) 直徑 | 10-5torr | — | |
（消耗制冷劑）低溫探針臺 | ||||||||
— | 6 | 4.5 K to 475 K | — | 3.5 K | 102 mm (4 in) 直徑 | 10-5torr | ±5° | |
0.6 T 水平磁場 電磁鐵 | 4 | 4.5 K to 400 K; 8 K to 400 K 同360°旋轉(zhuǎn)選件使用時 | — | 3.2 K | 25 mm (1 in) 直徑 | 10-5torr | ±360° (可選) | |
2.5 T 垂直磁場 超導(dǎo)磁體 | 6 | 4.2 K to 400 K, <10 K to 400 K 同Load Lock使用時 | — | 2 K | 51 mm (2 in) 直徑 | 10-5torr 標準 10-7torr 可選 | ±5° | |
— | 6 | 4.2 K to 475 K,<10 K to 400 K 同Load Lock使用時 | — | 低溫:1.9 K 極低溫: 1.6 K | 51 mm (2 in)直徑 12.7 mm (0.5 in)連接Load Lock | 10-5torr 標準 10-7torr 可選 | ±5° | |
— | 6 | 4.2 K to 475 K | 20 K to 675 K | 3.2 K | 51 mm (2 in) 直徑 | 10-5torr | — | |
— | 4 | 4.2 K to 475 K | — | 3.2 K | 32 mm (1.25 in) 直徑 | 10-5torr | — | |
