CRX-4K是Lake Shore公司推出的一款多功能、高性能設(shè)計(jì)的無(wú)液氦閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。該系統(tǒng)兼顧了無(wú)液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品卓越的測(cè)量性能。它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī)，開(kāi)機(jī)后可在無(wú)人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。CRX-4K多樣的選件和配置可使研究者完成精確的、富有挑戰(zhàn)性的測(cè)量。此款探針臺(tái)可提供的最低溫度為4.5K，探針臺(tái)內(nèi)多個(gè)溫度計(jì)的安裝可確保準(zhǔn)確和重復(fù)的測(cè)量。雙級(jí)閉循環(huán)制冷機(jī)允許樣品在冷卻過(guò)程中保持在較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測(cè)量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。CRX-4K 可定制容納直徑達(dá)102 毫米（4 英寸）的晶圓片，并有直徑 51 毫米（2 英寸）的探測(cè)區(qū)域。
主要特征
√ 溫度范圍4.5 K~350 K
√ 可選高溫至675 K
√ 無(wú)液氦低溫操作
√ 降溫中盡可能減少樣品冷凝
√ 標(biāo)準(zhǔn)2英寸（51 mm）樣品，4英寸（102mm）可選
√ 環(huán)形磁場(chǎng)選件最大0.19T
主要參數(shù)及描述
溫度范圍 | |
安裝2個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.5 K，控制范圍5 K ~ 350 K |
安裝4個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度5.5 K，控制范圍6 K ~ 350 K |
安裝6個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度6.0 K，控制范圍6.5 K ~ 350 K |
安裝PS-HTSTAGE選件（與樣品背面偏壓不兼容） | 基礎(chǔ)溫度20 K，控制范圍20 K ~ 675 K |
溫度穩(wěn)定性 | |
基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制) | 未說(shuō)明 |
<10 K | ±50 mK |
10 K ~ 100 K | ±10 mK |
101 K ~ 250 K | ±10 mK |
251 K ~ 350 K | ±20 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn) |
抽真空時(shí)間 | 30 min (<1×10-3 Torr) |
室溫 | <5 × 10-4Torr |
基礎(chǔ)溫度 | <1 × 10-5Torr |
最高溫度 | <1 × 10-5Torr |
循環(huán)時(shí)間 | |
總循環(huán) | 4 h |
抽真空 | 0.5 h |
探針臺(tái)冷卻 | 2 h |
探針臺(tái)升溫 | 1.5 h |
樣品 | |
最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
樣品背光接口 | 不可選 |
樣品旋轉(zhuǎn) | 不可選 |
樣品振動(dòng) | ＜1 μm |
探針配置 | |
最大探針數(shù) | 6 |
探針臂溫度計(jì) | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 |
冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) |
探針支架 | 連接樣品臺(tái)熱沉 |
探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 |
DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量 |
微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz |
光纖探針 | 可用于電光測(cè)量 |
落針?lè)秶?/p> | 所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 |
