CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性，為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī)，開機(jī)后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經(jīng)濟(jì)性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的工具。
I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標(biāo)準(zhǔn)的。雙級閉循環(huán)制冷機(jī)允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。
CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內(nèi)工作，并可選擇擴(kuò)展20 K至675 K的高溫范圍。該系統(tǒng)可容納直徑高達(dá)51 mm（2 in）的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應(yīng)用。
主要參數(shù)及描述
溫度范圍 | |
安裝2個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度8 K，控制范圍8.5 K ~ 350 K |
安裝4個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度9 K，控制范圍9.5 K ~ 350 K |
安裝6個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度10 K，控制范圍10.5 K ~ 350 K |
安裝PS-HTSTAGE選件（與樣品背面偏壓不兼容） | 基礎(chǔ)溫度20 K，控制范圍20 K ~ 675 K |
溫度穩(wěn)定性 | |
基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | 未說明 |
<10 K | ±25 mK |
11 K ~ 350 K | ±10 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK |
真空 | |
室溫 | <5×10-4Torr |
基礎(chǔ)溫度 | <1×10-5Torr |
最高溫度 | <5×10-5Torr |
循環(huán)時(shí)間 | |
總循環(huán) | 6.25 h |
抽真空 | 0.5 h |
探針臺冷卻 | 3.5 h |
探針臺升溫 | 2.25 h |
樣品 | |
最大尺寸 | 51 mm(2英寸) |
樣品背光接口 | 不可選 |
樣品旋轉(zhuǎn) | 不可選 |
樣品振動(dòng) | ＜2 μm |
探針配置 | |
最大探針數(shù) | 6 |
探針臂溫度計(jì) | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 |
冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) |
探針支架 | 連接樣品臺熱沉 |
探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 |
DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量 |
微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz |
光纖探針 | 可用于電光測量 |
落針范圍 | 所有探針均可在直徑為25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 |
