Lake Shore 的FWPX探針臺(tái)專為需要大尺寸晶圓探測(cè)的研究人員設(shè)計(jì)，它可以容納直徑高達(dá)102 mm（4英寸）的晶圓片，并可定制容納更大尺寸至152 mm（6英寸）的晶圓。這款通用的探針臺(tái)主要是為研究者和工程師們做大樣品的材料特性表征而設(shè)計(jì)，同樣可以有效的測(cè)量有機(jī)材料。
FWPX探針臺(tái)采用了連續(xù)流制冷系統(tǒng)，使用液氦或液氮來冷卻晶圓片或樣品。它的標(biāo)準(zhǔn)工作范圍為4.5K~475K，使用低溫選件可將基礎(chǔ)低溫?cái)U(kuò)展至3.5K。
FWPX探針臺(tái)可進(jìn)行I-V，C-V 和微波等標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量。
FWPX探針臺(tái)最多同時(shí)安裝6個(gè)帶有熱沉的微型操縱探針臂，經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)后可用于電光測(cè)試。
主要特征
√ 溫度范圍4.5 K~475 K
√ 可選低溫3.5 K
√ 樣品快速測(cè)量
√ 標(biāo)準(zhǔn)4英寸（102 mm）樣品，6英寸（152 mm）可定制
√ 樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
√ 樣品振動(dòng)＜30 nm
主要參數(shù)及描述
溫度范圍 | ||
最多安裝6個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.5 K，控制范圍5 K ~ 475 K | |
安裝PS-LT低溫選件 | 基礎(chǔ)溫度3.5 K，控制范圍4 K ~ 475 K | |
溫度穩(wěn)定性 | 液氦 | 液氮 |
基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制) | ±20 mK | ±20 mK |
<10 K | ±50 mK | — |
10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
101 K ~ 250 K | ±20 mK | ±50 mK |
251 K ~ 350 K | ±20 mK | ±100 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn) | |
抽真空時(shí)間 | 30 min (<1 × 10-3Torr) | |
室溫下 | <5 × 10-4Torr | |
基礎(chǔ)溫度下 | <1 × 10-5Torr | |
最高溫度下 | <5 × 10-3Torr | |
循環(huán)時(shí)間 | ||
總循環(huán) | 3.5 h | |
抽真空 | 0.5 h | |
探針臺(tái)冷卻 | 1.5 h | |
探針臺(tái)升溫 | 1.5 h | |
樣品 | ||
最大尺寸 | 102 mm(4英寸)標(biāo)準(zhǔn) | |
樣品背光接口 | 不可選 | |
樣品旋轉(zhuǎn) | ±5°面內(nèi)旋轉(zhuǎn) | |
樣品平移 | 在x軸和y軸上平移，用于整個(gè)102 mm的晶圓片探測(cè) | |
樣品振動(dòng) | ＜30 nm標(biāo)準(zhǔn) | |
探針配置 | ||
最大探針數(shù) | 6 | |
探針臂溫度計(jì) | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 | |
冷卻探針支架 | ＜30 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) | |
探針支架 | 連接樣品臺(tái)熱沉 | |
探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量 | |
微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz | |
光纖探針 | 可用于電光測(cè)量 | |
落針范圍 | 所有探針均可在直徑為51毫米（2 英寸）的圓內(nèi)落針 | |
