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    一種發(fā)光二極管外延片及其制備方法

      摘要:本發(fā)明公開了一種發(fā)光二極管外延片及其制備方法,屬于二極管技術(shù)領(lǐng)域。所述外延片包括襯底層、以及依次覆蓋在襯底層上的緩沖層、非摻雜的GaN層、N型接觸層、N型擴展層、多量子阱層和P型層;N型擴展層是由若干第一子層和若干第二子層交替形成的超晶格結(jié)構(gòu);第一子層采用N型摻雜的AlxGa1-xN作為生長材料,0<x<1;第二子層采用N型摻雜的GaN作為生長材料。本發(fā)明通過增加一層N型擴展層,使電子在進入多量子阱層之前速度降低,同時防止了部分空穴直接躍遷進入N型層,從而使電子和空穴在多量子阱層充分復(fù)合發(fā)光,提高了發(fā)光二極管的發(fā)光效率。另外,N型擴展層的超晶格結(jié)構(gòu)可以提升發(fā)光二極管的內(nèi)量子效率。
    • 專利類型發(fā)明專利
    • 申請人華燦光電股份有限公司;
    • 發(fā)明人萬林;魏世禎;
    • 地址430223 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)濱湖路8號
    • 申請?zhí)?/b>CN201210540920.3
    • 申請時間2012年12月12日
    • 申請公布號CN103035805B
    • 申請公布時間2016年06月01日
    • 分類號H01L33/32(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;
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