摘要：本發(fā)明公開了一種提高曝光圖形位置精度的光刻系統(tǒng)及方法，通過平臺(tái)位置同步信號(hào)和連續(xù)時(shí)間周期脈沖信號(hào)輸出，觸發(fā)空間光調(diào)制器同步圖形換行，實(shí)現(xiàn)直寫掃描式曝光。通過采用這種脈沖信號(hào)觸發(fā)掃描方式的系統(tǒng)能夠提高掃描圖形的位置精度和減小圖形大小誤差。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人蘇州微影光電科技有限公司;
- 發(fā)明人朱亮;張雷;
- 地址215000 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310151342.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年04月27日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103226294A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年07月31日
- 分類號(hào)G03F7/20(2006.01)I;
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