摘要：本發(fā)明公開了一種高速數(shù)字掃描直寫光刻裝置，包括光源，光學(xué)照明系統(tǒng)，可編程圖形發(fā)生器，投影光學(xué)系統(tǒng)，高速精密移動平臺等五部分。曝光光束從光源發(fā)出，進入光學(xué)照明系統(tǒng)，準直成平行均勻的面光源投影至可編程圖形發(fā)生器，而此時可編程圖形發(fā)生器上的圖形信息伴隨光線進入投影光學(xué)系統(tǒng)，曝光光線穿過投影光學(xué)系統(tǒng)，最后投影成像在高速精密移動平臺的基底上。本發(fā)明可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能數(shù)十倍的提升可編輯圖形發(fā)生器的刷新頻率，從而提高產(chǎn)品的加工速率，改善了產(chǎn)品加工的良率。制作工藝簡單，降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人蘇州微影光電科技有限公司;
- 發(fā)明人李平貴;張國龍;馬迪;
- 地址215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路蘇州微影光電科技有限公司
- 申請?zhí)?/b>CN201410190903.0
- 申請時間2014年05月08日
- 申請公布號CN104007620A
- 申請公布時間2014年08月27日
- 分類號G03F7/20(2006.01)I;
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