nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種專用樣品臺，滿足各種高精度的噴金或電生長需求。除了濺射金屬電外，nanoEM還具有大的拓展空間，雖然作為臺式設(shè)備，nanoEM配備了輸出功率可達(dá)300W的濺射源，系統(tǒng)還可選擇樣品臺旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動壓強(qiáng)控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿足學(xué)術(shù)研究的多種樣品生長需求，可升成為一臺多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實(shí)驗(yàn)室的青睞。
主要特點(diǎn)：
◎ 能夠達(dá)到學(xué)術(shù)研究的多功能噴金儀
◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種專用樣品臺可選
◎ 可安裝兩個(gè)2英寸濺射源
◎ 通用的濺射靶材
◎ 本底真空<5×10-7mbar
◎ 流量計(jì)控制生長氣氛
◎ 可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達(dá)300W
◎ 全自動，引導(dǎo)式觸屏控制
◎ 完備的安全性設(shè)計(jì)
◎ 易于維護(hù)
◎ 兼容超凈室
◎ 穩(wěn)定的性能表現(xiàn)
系統(tǒng)選件：
◎ 腔體視窗
◎ 真空泵型號可選
◎ 氣壓全自動控制系統(tǒng)
◎ 濺射源擋板
◎ 等離子體輝光電
◎ 樣品臺旋轉(zhuǎn)與傾斜
◎ 晶振膜厚監(jiān)測系統(tǒng)
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