繼曲面之后，推出了折疊式的智能手機(jī)，目前這種形態(tài)因素競爭為市場的焦點(diǎn)。三星電子的Galaxy Fold和Galaxy Z Flip采用了畫面內(nèi)折的形態(tài)因素,華為的Mate X采用了外折的新Out Folding形態(tài)因素。另外，還公開了超越這些顯示屏的內(nèi)外折疊，兩次、三次折疊的滾筒式效果。
柔性顯示是由柔性基板上增加驅(qū)動(dòng)元件，標(biāo)識元件，再有為了保護(hù)這些元件的封裝膜來構(gòu)成?，F(xiàn)有，為形成折疊顯示的封裝膜適用了有/無機(jī)疊層構(gòu)造的封裝技術(shù)，無機(jī)膜使用了PECVD方式。
用機(jī)械連續(xù)施壓后，像脆性比較弱的無機(jī)膜封裝特性會下降，所以柔性顯示開發(fā)初期本公司適用了厚度比較薄，且封裝出色的ALD封裝技術(shù)。結(jié)果對于ALD設(shè)備的信賴度及量產(chǎn)性的疑點(diǎn)，所以沒有實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)。
但，因原子層沉積無機(jī)膜的出色封裝特性，迄今為止大學(xué)，研究所，相關(guān)顯示企業(yè)還在使用ALD技術(shù)（無機(jī)膜）進(jìn)行數(shù)十萬次的折疊等研究及評價(jià)。
購買NCD大面積 ALD 沉積設(shè)備（ Lucida GD Series）的客戶對于柔性顯示也在使用代替PECVD無機(jī)膜的ALD Al2O3無機(jī)膜來評價(jià)folding來實(shí)際確認(rèn)顯示器件是否正常動(dòng)作。In-folding和 Out-folding用顯示器件是5.85英寸AMOLED面板，封裝膜構(gòu)造為30nm Al2O3 ALD/ 8?-Polyer/ 30nm Al2O3構(gòu)成。進(jìn)行了RA 60℃/90% for 500hr的信賴性評價(jià)后，在2R 顯示開啟狀態(tài)進(jìn)行20萬次的In-folding和Out-folding的評價(jià)。Folding評價(jià)時(shí)顯示器件無黑點(diǎn)等問題, Folding評價(jià)進(jìn)行后，再次進(jìn)行第二次RA 60℃/90% for 48hr的信賴性評價(jià)，之后觀察TFE(Thin Film Encapsulation)狀態(tài)。雖然進(jìn)行了2測的信賴性評價(jià)及20萬次的Folding，結(jié)果TEF上沒有發(fā)現(xiàn)裂痕。
為了適用折疊手機(jī)，使用NCD的大面積原子層沉積設(shè)備，可適用薄的無機(jī)膜來實(shí)現(xiàn)比之前更好的封裝特性，還可以同時(shí)進(jìn)行多個(gè)顯示器件的沉積作業(yè)來減少生產(chǎn)時(shí)間。
因此，為了滿足比現(xiàn)在的折疊式手機(jī)更小的曲率半徑，in/out-folding都需要的未來平板顯示器的封裝膜，NCD的大面積ALD設(shè)備就是解決方案。
