高質(zhì)量薄膜材料的制備已經(jīng)成為新型材料與器件研究必不可少的部分。薄膜材料質(zhì)量的好壞直接影響著研究結(jié)果和器件的最終性能。因此薄膜制備設(shè)備已成為新型材料和器件研究的重中之重。對(duì)于大多數(shù)薄膜材料，常用的制備手段有磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、脈沖激光沉積等。這類(lèi)在真空條件下采用物理方法將材料源（多數(shù)為固體）表面氣化成氣態(tài)原子或分子，或部分電離成離子，并通過(guò)低壓氣體（或等離子體）過(guò)程，在基片表面沉積具有某種特殊功能的薄膜稱為物理氣象沉積（PVD）。傳統(tǒng)設(shè)備中，一種設(shè)備只具備一種薄膜的制備手段，隨著研究的深入和器件的復(fù)雜化，往往一個(gè)樣品需要多種制備手段才能完成。樣品在不同設(shè)備中輪流進(jìn)行加工制備增加了外界影響的可能性，對(duì)樣品的質(zhì)量和可靠性有較大影響。因此，在一種設(shè)備中實(shí)現(xiàn)多種制備手段成為一種有效的解決方案。
英國(guó)Moorfield Nanotechnology公司生產(chǎn)的高精度薄膜制備與加工系統(tǒng)涵蓋了磁控/熱蒸發(fā)、磁控/電子束蒸發(fā)、有機(jī)物/金屬熱蒸發(fā)等多種制備手段。日前，QuantumDesign中國(guó)將一臺(tái)高質(zhì)量磁控/電子束薄膜制備系統(tǒng)MiniLab-125安裝于復(fù)旦大學(xué)并順利驗(yàn)收投入使用。該系統(tǒng)與其他設(shè)備進(jìn)行真空互聯(lián)，實(shí)現(xiàn)了樣品的制備、表征全流程研究體系，成為了用戶對(duì)新型材料與器件研究的重要保障。
已安裝驗(yàn)收并順利投入使用的磁控濺射/電子束蒸發(fā)薄膜制備系統(tǒng)MiniLab-125
Moorfield Nanotechnology是英國(guó)材料科學(xué)領(lǐng)域高性能儀器研發(fā)與制造公司，成立二十多年來(lái)專注于高質(zhì)量的薄膜生長(zhǎng)與加工技術(shù)，擁有雄厚的技術(shù)實(shí)力，推出的多種高性能設(shè)備受到科研與工業(yè)領(lǐng)域的廣泛好評(píng)。高精度薄膜制備與加工系統(tǒng)–MiniLab、臺(tái)式高性能多功能PVD薄膜制備系列—nanoPVD、臺(tái)式超精準(zhǔn)二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH、臺(tái)式精準(zhǔn)氣氛\(chéng)壓力控制高溫退火系統(tǒng)—ANNEAL是經(jīng)過(guò)多年技術(shù)積累與改進(jìn)的旗艦系列產(chǎn)品。配置靈活、模塊化設(shè)計(jì)的系統(tǒng)，可滿足一種或多種薄膜制備功能，能夠滿足各種用戶的需求。產(chǎn)品推出以來(lái)已經(jīng)交付于全球諸多高校和科研單位，并獲得用戶的一致好評(píng)。
高質(zhì)量臺(tái)式熱蒸發(fā)系統(tǒng)T15A
高質(zhì)量臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng)S10A
高質(zhì)量臺(tái)式磁控濺射&熱蒸發(fā)系統(tǒng)ST15A
高精度多功能薄膜制備系統(tǒng)-MiniLab系列
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