摘要:一種機械手末端執(zhí)行器,包括有手指及固定鉗口,固定鉗口固定在手指上,所述機械手末端執(zhí)行器還包括有連接塊、導向軸及隨動導輪,連接塊滑動安裝在手指上,導向軸固定在連接塊上,隨動導輪轉(zhuǎn)動固定在連接塊上,手指能夠相對導向軸的軸線轉(zhuǎn)動,導向軸與連接塊能夠相對手指沿導向軸的軸線移動,隨動導輪隨連接塊一起移動,直至隨動導輪與固定鉗口夾住晶圓片,隨動導輪在夾住晶圓片的過程中能夠相對連接塊轉(zhuǎn)動以對晶圓片的位置進行調(diào)節(jié)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人管莉娜;曲道奎;徐方;李學威;王金濤;溫燕修;周道;邊弘曄;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201210002054.2
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103192401A
- 申請公布時間2013年07月10日
- 分類號B25J15/00(2006.01)I;




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